Verfahren, Systeme und Vorrichtung zur Durchführung eines Kalibrierungsvorgangs für Mehrere Massenflusssteuergeräte (mfcs) eines Substratverarbeitungssystems

EP4324023 Art A1 21. Februar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4324023
Aktenzeichen: EP22788588
Anmeldetag: 20. Januar 2022
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G05D7/06G01F15/00G01F25/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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