Verfahren und Vorrichtung zur Fotomaskenverarbeitung

EP4324301 Art A1 21. Februar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4324301
Aktenzeichen: EP22788697
Anmeldetag: 11. April 2022
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/24H05H1/34H05H1/00G03F7/20H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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