Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren, Vorrichtungsherstellungsverfahren und Vorrichtung

EP4325294 Art A1 21. Februar 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4325294
Aktenzeichen: EP22787936
Anmeldetag: 17. März 2022
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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