Verfahren zur Reinigung von Iodosilanen

EP4326683 Art A1 28. Februar 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4326683
Aktenzeichen
EP22792407
Anmeldetag
20. April 2022
Veröffentlichung
28. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C02F1/60C02F1/44B01D61/58C23C16/40C23C16/455H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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