Siliciumvorläuferverbindungen und Verfahren zur Herstellung von Siliciumhaltigen Filmen

EP4326921 Art A1 28. Februar 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4326921
Aktenzeichen
EP22792486
Anmeldetag
21. April 2022
Veröffentlichung
28. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/455C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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