Hochquanteneffizienter Trockenresist für Niedrige Belichtungsdosis von Euv-Strahlung
EP4327161
Art A1
28. Februar 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4327161
- Aktenzeichen
- EP22792579
- Anmeldetag
- 22. April 2022
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/16G03F7/004H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar