Analyseverfahren, Analysevorrichtung, Messverfahren, Messvorrichtung, Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung

EP4328544 Art A1 28. Februar 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4328544
Aktenzeichen: EP22791619
Anmeldetag: 8. April 2022
Veröffentlichung: 28. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B21/00G03F7/20G03F7/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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