Chemisch-Mechanisches Überwachungsgerätpolierverfahren mit Maschinenlernen basierend auf der Verarbeitung von Wärmebildern

EP4329981 Art A1 6. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4329981
Aktenzeichen: EP22796652
Anmeldetag: 27. April 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/015B24B49/14B24B49/12G06N20/00B24B37/005

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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