Ventilmodul für ein Vakuumpumpsystem
EP4330549
Art B1
17. Dezember 2025
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4330549
- Aktenzeichen
- EP22722873
- Anmeldetag
- 28. April 2022
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2025
- Erteilung
- 17. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C16/44F04B37/14F04B41/06// H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ford, Alexander
Burgess Hill, Großbritannien
38
Patente gesamt
9
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte