Verbesserte Spiegelvorrichtung für Mikroelektromechanisches System

EP4330756 Art A1 6. März 2024

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4330756
Aktenzeichen: EP22719960
Anmeldetag: 22. April 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G02B26/10

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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