Behälter

EP4331732 Art A1 6. März 2024

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Aicello Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4331732
Aktenzeichen: EP22795529
Anmeldetag: 31. März 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B05C5/02H01L21/027H01L21/677H01L21/67H01L21/304// B05C11/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Aicello Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von