Gerät und Verfahren zur Nicht-Immersiven Nass-Chemischen Behandlung eines Planaren Substrats und Vorrichtung zum Halten des Substrats

EP4332277 Art A1 6. März 2024

Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4332277
Aktenzeichen: EP22192691
Anmeldetag: 29. August 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C25D17/06C23G3/02H01L21/687B08B3/04B05C5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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