Optisches System für Geladene Teilchen und Vorrichtung für Geladene Teilchen

EP4333017 Art A1 6. März 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4333017
Aktenzeichen: EP22795630
Anmeldetag: 19. April 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/143H01J37/145

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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