Gasbehandlungssystem

EP4333024 Art A1 6. März 2024

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4333024
Aktenzeichen: EP22795679
Anmeldetag: 22. April 2022
Veröffentlichung: 6. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02F17D5/00G01M3/26G01M3/28B01D53/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von