Heisswassererzeugung für Chemisch-Mechanisches Polieren

EP4334083 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4334083
Aktenzeichen: EP22799383
Anmeldetag: 2. Mai 2022
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B24B55/06B24B53/017H01L21/67B24B37/005B24B37/04B24B37/34B24B37/015

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von