Mehrstufige Gasprobenfalle und Nachweis von Verunreinigungen Schwefelhaltiger Spezies

EP4334698 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4334698
Aktenzeichen
EP22799582
Anmeldetag
5. Mai 2022
Veröffentlichung
13. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/22G01N30/96G01N33/00G01N30/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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