Verfahren zur Herstellung von Molybdänkontakten

EP4334971 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4334971
Aktenzeichen: EP22799644
Anmeldetag: 6. Mai 2022
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/455C23C16/56C23C16/14C23C16/04C23C16/06H01L21/768H01L21/285// H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von