Verfahren zum Züchten einer Galliumoxidschicht auf einem Substrat und Halbleiterwafer

EP4335949 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Siltronic AG, Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4335949
Aktenzeichen
EP22194558
Anmeldetag
8. September 2022
Veröffentlichung
13. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/02C23C16/02C23C16/40C23C16/455C30B25/18C30B25/20C30B27/00C30B29/16C30B33/02C30B35/00H01L21/02C30B25/14C30B25/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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