Suszeptor mit Austauschbaren Auflageelementen

EP4335951 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4335951
Aktenzeichen: EP22194563
Anmeldetag: 8. September 2022
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/12C23C16/458H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Siltronic AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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