Verfahren zum Kalibrieren einer Sphärischen Welle, sowie Prüfsystem zur Interferometrischen Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings

EP4336139 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4336139
Aktenzeichen
EP23194569
Anmeldetag
31. August 2023
Veröffentlichung
13. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01B9/02055G02B5/10G01B11/24G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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