Verfahren zum Kalibrieren einer Sphärischen Welle, sowie Prüfsystem zur Interferometrischen Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings
EP4336139
Art A1
13. März 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4336139
- Aktenzeichen
- EP23194569
- Anmeldetag
- 31. August 2023
- Veröffentlichung
- 13. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B9/02055G02B5/10G01B11/24G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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