Chemisch Verstärkte Positivresistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP4336261 Art A1 13. März 2024

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4336261
Aktenzeichen: EP23195742
Anmeldetag: 6. September 2023
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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