Selektive Ätzmittelzusammensetzungen und Verfahren

EP4337744 Art A1 20. März 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4337744
Aktenzeichen
EP22808353
Anmeldetag
12. Mai 2022
Veröffentlichung
20. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C04B41/53C04B41/50C04B41/00C04B41/91C09K13/06H01L21/311// C04B111/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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