Walze zum Transport eines Flexiblen Substrats, Vakuumverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Kühlen einer Walze

EP4337805 Art A1 20. März 2024

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4337805
Aktenzeichen: EP22808013
Anmeldetag: 18. April 2022
Veröffentlichung: 20. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/54C23C16/54C23C16/46C23C16/458H01L21/67H01L21/677C23C14/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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