Verfahren zur Steuerung eines Mikroelektromechanischen Systems

EP4341203 Art A1 27. März 2024

Anmelder: Silmach, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), UNIVERSITE DE FRANCHE COMTE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4341203
Aktenzeichen
EP22732285
Anmeldetag
20. Mai 2022
Veröffentlichung
27. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B81B7/00B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Silmach
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
UNIVERSITE DE FRANCHE COMTE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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