In-Situ-Filmstegsensoranordnung, Vorrichtung und Verfahren

EP4341641 Art A1 27. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4341641
Aktenzeichen: EP22805250
Anmeldetag: 16. Mai 2022
Veröffentlichung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/48C23C16/52G01B11/06C30B25/12C30B25/16C30B35/00H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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