Beschichtungsvorrichtung mit nicht Verdampfbarem Getter, Verfahren zur Herstellung eines mit nicht Verdampfbarem Getter Beschichteten Behälters/rohrs und mit nicht Verdampfbarem Getter Beschichteter Behälter/rohr

EP4343018 Art A1 27. März 2024

Anmelder: Inter-University Research Institute Corporation High Energy Accelerator Research Organization, JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4343018
Aktenzeichen
EP22804699
Anmeldetag
17. Mai 2022
Veröffentlichung
27. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/34C23C14/35C23C14/16C23C16/27F04B37/02F04B37/04F04B37/16H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Inter-University Research Institute Corporation High Energy Accelerator Research Organization
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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