Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Siliciumnitridschichten

EP4347744 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4347744
Aktenzeichen
EP22811893
Anmeldetag
20. Mai 2022
Veröffentlichung
10. April 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/06H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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