In-Situ-Epi-Wachstumsratensteuerung eines Mikroausgleichssensors für Kristalldicke

EP4347931 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4347931
Aktenzeichen: EP22816606
Anmeldetag: 8. April 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/14C30B25/16C30B35/00C23C16/52H01L21/67H01L21/687C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von