Vorrichtung zur Oberflächenanalyse durch Beugung Schneller Atome in einer Hochdruckumgebung
EP4348230
Art A1
10. April 2024
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Université Paris-Saclay, CY Cergy Paris Université 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4348230
- Aktenzeichen
- EP22731245
- Anmeldetag
- 2. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 10. April 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/201H05H3/02G01N23/207H01L21/302H01J37/32H01J37/34
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique
Université Paris-Saclay
CY Cergy Paris Université - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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