Vorrichtung zur Oberflächenanalyse durch Beugung Schneller Atome in einer Hochdruckumgebung

EP4348230 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Université Paris-Saclay, CY Cergy Paris Université 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4348230
Aktenzeichen: EP22731245
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/201H05H3/02G01N23/207H01L21/302H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
Université Paris-Saclay
CY Cergy Paris Université
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Paris-Saclay

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