Verfahren zur Verwendung einer Zusammensetzung mit einer Organischen Säureverbindung, Lithografiezusammensetzung mit einer Organischen Säureverbindung und Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur

EP4348352 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4348352
Aktenzeichen: EP22734155
Anmeldetag: 31. Mai 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038G03F7/09G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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