Lichtverstärktes Ozonwaferverarbeitungssystem und Verwendungsverfahren

EP4348355 Art A1 10. April 2024

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4348355
Aktenzeichen: EP22816821
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/42H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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