Vorrichtung zur Feststellung und Quantifizierung von Radikalkonzentration in Halbleiterverarbeitungssystemen

EP4348695 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4348695
Aktenzeichen: EP22816633
Anmeldetag: 13. Mai 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/66H01J49/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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