Anordnung einer Achsensymmetrischen Heizanordnung mit Zweiendiger Lampe

EP4352781 Art A1 17. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4352781
Aktenzeichen: EP22820736
Anmeldetag: 20. April 2022
Veröffentlichung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/00H01L21/67C30B25/10H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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