Positionsmessvorrichtung und Positionsmessverfahren

EP4354079 Art A1 17. April 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4354079
Aktenzeichen: EP21945208
Anmeldetag: 11. Juni 2021
Veröffentlichung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/00G01C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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