Schleifen von Harten Substraten

EP4355836 Art A1 24. April 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4355836
Aktenzeichen
EP22825697
Anmeldetag
14. Juni 2022
Veröffentlichung
24. April 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/04H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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