Prozesskit mit Grossem Abscheidungsring und Elektrostatischem Spannfutter (esc) mit Kleinem Durchmesser für Pvd-Kammer

EP4355925 Art A1 24. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4355925
Aktenzeichen: EP22825524
Anmeldetag: 23. Mai 2022
Veröffentlichung: 24. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C14/56C23C14/34H01J37/32H10P72/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von