Verbundschicht auf Extrem-Ultraviolett-Platte

EP4356196 Art A1 24. April 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4356196
Aktenzeichen
EP22825815
Anmeldetag
16. Juni 2022
Veröffentlichung
24. April 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/66H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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