Randglättung einer Digitalen Lithographiebelichtungseinheit

EP4356199 Art A1 24. April 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4356199
Aktenzeichen: EP21946212
Anmeldetag: 14. Juni 2021
Veröffentlichung: 24. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08G03B27/32G03B27/42G03F1/00G03F9/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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