Vorrichtung und Verfahren zur Ausrichtung und Abdichtung einer Burn-In-Platine zwischen Kammer und Rahmen für ein Halbleiter-Burn-In-Verfahren
EP4356418
Art B1
11. Februar 2026
Anmelder: MSV SYSTEMS & SERVICES PTE LTD 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4356418
- Aktenzeichen
- EP21915965
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Erteilung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67G01R31/26G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MSV SYSTEMS & SERVICES PTE LTD
- Land
- 🇸🇬 Singapur
Vertreten von
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Avidity IP
Avidity IP · Cambridge
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Pure Ideas Limited · Stratford-Upon-Avon