Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Komponenten auf einer Zieloberfläche eines Ziels sowie Spenderplatte zur Verwendung damit

EP4358121 Art A1 24. April 2024

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4358121
Aktenzeichen: EP22202269
Anmeldetag: 18. Oktober 2022
Veröffentlichung: 24. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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