Laserbearbeitungsvorrichtung mit Strahlanalysesystem und Verfahren zur Messung und Steuerung von Strahleigenschaften

EP4359164 Art A1 1. Mai 2024

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4359164
Aktenzeichen: EP22829018
Anmeldetag: 14. Juni 2022
Veröffentlichung: 1. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/0622B23K26/06B23K26/03H01S3/10H01S3/08B23K26/082B23K26/08B23K26/364B23K26/382B23K26/40B23K26/402B23K26/70B23K101/40B23K101/42H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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