Mehrteiliger Suszeptor
EP4361313
Art A1
1. Mai 2024
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4361313
- Aktenzeichen
- EP22204401
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458C30B25/12H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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Weitere Vertreter
-
Grundner, Sebastian
Linde GmbH · Burghausen