Elektroplattierungsvorrichtung und Elektroplattierungsverfahren für Nichtkreisförmiges Substrat
EP4361321
Art A1
1. Mai 2024
Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4361321
- Aktenzeichen
- EP22827369
- Anmeldetag
- 6. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D17/00C25D17/12C25D21/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ACM Research (Shanghai) Inc.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
ACM Research (Shanghai)
ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.
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