Elektroplattierungsvorrichtung und Elektroplattierungsverfahren für Nichtkreisförmiges Substrat

EP4361321 Art A1 1. Mai 2024

Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4361321
Aktenzeichen
EP22827369
Anmeldetag
6. Juni 2022
Veröffentlichung
1. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/00C25D17/12C25D21/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ACM Research (Shanghai) Inc.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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