Excimer-Lampe und Excimer-Lampenvorrichtung

EP4362063 Art A1 1. Mai 2024

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4362063
Aktenzeichen
EP22827982
Anmeldetag
22. März 2022
Veröffentlichung
1. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J65/04H01J61/54H01J61/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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