Verfahren zur Verbindung einer Vergrabenen Verbindungsleitung und eines Source/drain-Körpers

EP4362075 Art B1 30. April 2025

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4362075
Aktenzeichen: EP22203696
Anmeldetag: 25. Oktober 2022
Veröffentlichung: 30. April 2025
Erteilung: 30. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L21/768H01L23/528H01L23/535

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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