Hochhomogene Glassputtertargets mit Grossem Aspektverhältnis und Hoher Relativer Dichte zur Physikalischen Dampfabscheidung

EP4363384 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: SCHOTT Corporation, SCHOTT AG, Schott Japan Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4363384
Aktenzeichen: EP22834454
Anmeldetag: 4. Juli 2022
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C03C3/062C23C14/06H01J37/34C03B25/00C03B5/235C03B23/025C23C14/22C23C14/34H01J37/32C03B11/08C03B11/12C03B23/00C03C3/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCHOTT Corporation
SCHOTT AG
Schott Japan Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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