Konzentrationssensor für Vorläuferabgabesystem

EP4363631 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4363631
Aktenzeichen: EP22834082
Anmeldetag: 28. Juni 2022
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448C23C16/52C23C16/455G01F1/74G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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