Polieren von Übergangsmetallen
EP4363635
Art A1
8. Mai 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4363635
- Aktenzeichen
- EP22833928
- Anmeldetag
- 22. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02C09K3/14H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar