Mems-Resonatorsensorsubstrat zur Plasma-, Temperatur-, Spannungs- oder Ablagerungserfassung

EP4363841 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4363841
Aktenzeichen: EP22833870
Anmeldetag: 3. Juni 2022
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N29/04G01N29/12G01N29/34G01N29/44G06N20/00H01L21/66H01J37/32H05H1/00G01N29/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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