Schattenringhebevorrichtung zur Verbesserung der Waferrandleistung

EP4364192 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4364192
Aktenzeichen: EP22833851
Anmeldetag: 19. April 2022
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/04C23C16/14C23C16/452C23C16/458C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von